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1.  前言

    中北大学微米纳米加工中心可提供微/纳器件(M/NEMS)工艺设计、加工、测试等方面的服务,在2013年-2017年服务了各类研究项目25项,发表SCI论文545篇,国家标准1项,出版专著11部,获得授权发明专利179项部分成果如下。

2. 出版专著

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3. 学术论文 

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4. 专利及标准

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