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中北大学,前身为“人民兵工第一校“——太行工业学校,历经太原机械学院、华北工学院。学校目前入选“教育部卓越工程师教育培养计划”和“中西部高校基础能力建设工程”是一所由山西省人民政府与国家国防科技工业局共建的教学研究型大学。

中北大学微纳加工中心(MNFC)依托于仪器科学与动态测试教育部重点实验室、动态测试技术省部共建国家重点实验室(培育基地)、山西省微米纳米工程技术研究中心以及仪器与电子学院科研团队,形成了完整的微/纳器件(M/NEMS)工艺设计、加工、测试研发平台,可为国内外同行提供微纳器件研发、工艺代工、工艺测试等技术服务。

中心目前拥有1100m2工艺实验室面积,百级洁净工作区(黄光区)主要开展双面光刻及其辅助的匀胶、喷胶、烘胶、显影、腐蚀、等离子清洗、晶圆键合等工艺研发和科研服务;高温及等离子工艺区主要开展高温扩散氧化退火、PECVD、ALD、Parylene、Sputter、ICP、DRIE等工艺研发和科研服务;在线工艺测试区主要有扫描电子显微镜(SEM)、台阶仪、共聚焦显微镜、高低温探针台、半导体特性参数测试仪等;后道封装工艺区提供划裂片、磨抛减薄、激光划片、引线键合等工艺研发及科研服务。

中心可根据客户需求和任务性质,提供单步或系列工艺代工、成套工艺设计开发,项目负责人可亲自或委派代表经必要培训后在中心进行工艺流程监控或自行完成部分工艺。

本中心已为北京大学、清华大学、厦门大学、西安交通大学、太原理工大学、山西医科大学、中科院微电子所、半导体所、航天772所、成都天奥电子、晋能光伏等单位提供了多项工艺加工及测试服务,解决了用户单位科研及产品研发过程中遇到的关键技术问题

中北大学微纳加工中心欢迎有需求的客户来电咨询并开展技术合作。

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